靠实力说话！江苏影速光电在光刻领域闯出一片天

    中国江苏网讯（记者 邵文晶）打破德国日本垄断地位、填补国内技术空白、申报60余项专利……在第六届“创业江苏”科技创业大赛先进制造行业赛的舞台上，江苏影速光电技术有限公司的常务副总肖燕青向观众们自信展示公司实力。该公司一举夺得行业赛成长企业组一等奖，并在10月15日举办的第七届中国创新创业大赛先进制造行业总决赛中获得成长企业组二等奖。

　　影速光电是国内专业的集成电路核心装备制造商，目前系国内拥有“双台面曝光技术”发明专利的企业，重点生产半导体纳米级制版光刻设备，这是集成电路生产的最基础、最核心和最关键的设备。肖燕青表示，公司的研发团队经过10年的潜心研发，攻克重重技术难关，打破了德国和日本的垄断。正是因为技术的突破，江苏影速光电迅速抢占了市场。肖燕青表示，公司与中电科集团、深南电路、明阳电路等行业标杆企业达成合作，填补了国内空白。去年公司从日德企业手中切了12%的市场，今年目标是突破20%市场份额。

　　“整个光刻领域，国内落后国外的程度较高。当时只有德国奥宝公司有双台面技术。”肖燕青解释道，这项技术的攻克十分艰难，在曝光过程中，上面的整个光机系统都要移动，在移动过程中还要保持定位精度在纳米级，“实在太难实现了，我们攻克了无数的技术难关，最终突破了难点，做出了双台面。”据了解，影速光电当时带着这台设备进入整个PCB领域排名前三的企业——深南电路，在同等生产环境和同等工艺条件下，以明显的优势胜过他们的设备。“我们整个研发团队历经8个月，不停钻研工艺的优化，最后，我们跟德国奥宝的精度产能都一样，深南电路已经通过验证并出具鉴定报告。”回想起当时令人振奋的场景，肖燕青仍然觉得十分激动。

　　此次参加第六届“创业江苏”科技创业大赛，肖燕青认为意义很大，公司项目得到专家及业内同行的诸多肯定，扩大了公司在集成电路装备制造业的影响，也更加坚定了公司创业的初衷。“从远景来看，我们的目标毫无置疑是成为世界一流微电子设备供应商。现在，我们则希望用5-8年的时间，成为直写光刻领域国内最好的企业。”肖燕青说，影速公司将一直坚持以市场导向，不断创新，砥砺前行，为打破国外垄断，填补我国大规模集成电路生产用核心装备的空白而不断努力。